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MEMS壓力傳感器
MEMS壓力傳感器技術(shù)最為成熟的是硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機(jī)電傳感器。安培龍采用的硅壓阻式壓力傳感器的核心是將電阻條集成在單晶硅膜片上，形成惠斯通電橋，制成硅壓阻芯片。從而實(shí)現(xiàn)力-電轉(zhuǎn)換。硅壓阻式壓力傳感器也叫擴(kuò)散硅壓力傳感器。
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